氧化鋁陶瓷是一種以氧化鋁(Al2O3)為主體的陶瓷材料,用于厚膜集成電路。氧化鋁陶瓷有較好的傳導(dǎo)性、機(jī)械強(qiáng)度和耐高溫性,需要注意的是需用超聲波進(jìn)行洗滌。
氧化鋁陶瓷是一種用途廣泛的陶瓷,因?yàn)槠鋬?yōu)越的性能,在現(xiàn)代社會(huì)的應(yīng)用已經(jīng)越來越廣泛,滿足于日用和特殊性能的需要。
1、干壓成型
氧化鋁陶瓷干壓成型技術(shù)僅限于形狀單純且內(nèi)壁厚度超過1mm,長度與直徑之比不大于4∶1的物件。成型方法有單軸向或雙向,壓機(jī)有液壓式、機(jī)械式兩種,可呈半自動(dòng)或全自動(dòng)成型方式,壓機(jī)最大壓力為200Mpa。產(chǎn)量每分鐘可達(dá)15~50件。
由于液壓式壓機(jī)沖程壓力均勻,故在粉料充填有差異時(shí)壓制件高度不同,而機(jī)械式壓機(jī)施加壓力大小因粉體充填多少而變化,易導(dǎo)致燒結(jié)后尺寸收縮產(chǎn)生差異,影響產(chǎn)品質(zhì)量。
因此干壓過程中粉體顆粒均勻分布對模具充填非常重要,充填量準(zhǔn)確與否對制造的氧化鋁陶瓷零件尺寸精度控制影響很大,粉體顆粒以大于60μm、介于60~200目之間可獲最大自由流動(dòng)效果,取得最好壓力成型效果。
2、注漿成型法
注漿成型是氧化鋁陶瓷使用最早的成型方法,由于采用石膏模、成本低且易于成型大尺寸、外形復(fù)雜的部件,注漿成型的關(guān)鍵是氧化鋁漿料的制備。
通常以水為熔劑介質(zhì),再加入解膠劑與粘結(jié)劑,充分研磨之后排氣,然后倒注入石膏模內(nèi),由于石膏模毛細(xì)管對水分的吸附,漿料遂固化在模內(nèi),空心注漿時(shí),在模壁吸附漿料達(dá)要求厚度時(shí),還需將多余漿料倒出,為減少坯體收縮量、應(yīng)盡量使用高濃度漿料。
氧化鋁陶瓷漿料中還需加入有機(jī)添加劑以使料漿顆粒表面形成雙電層使料漿穩(wěn)定懸浮不沉淀。此外還需加入乙烯醇、甲基纖維素、海藻酸胺等粘結(jié)劑及聚丙烯胺、阿拉伯樹膠等分散劑,目的均在于使?jié){料適宜注漿成型操作。